真空冷噴
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真空冷噴（氣懸浮沉積設備）
SWZKLP真空冷噴涂系統
一，設備概述
真空冷噴涂環境系統是根據客戶工藝要求，結合陜西賽維自動化有限公司在真空系統上的成功經驗設計的一套用在真空室體的冷噴涂系統。設備的主要用途：沉積微米級厚度的陶瓷薄膜。
氣懸浮沉積設備性能參數：
1） 極限真空度：5Pa
2） 工作真空度：50~1000Pa；動態可調 精度±5Pa（升級不另行通知）
3） 真空室體尺寸（長×寬×高）：1050×800×900mm；（升級不另行通知）
4） 二維工作臺行程：350×320 mm；可X-Y編程，可圖形輸入
5） 控制系統：PLC可編程控制器
6） 控制方式：壓強自動控制
7） 氣體過濾回收
二，真空冷噴涂設備系統組成
真空噴涂設備系統包括真空抽氣泵組，真空室體及附件，真空室體底座，吹氣懸浮振動送粉及冷噴槍，二維工作臺工件安裝及移動裝置，電氣控制及操作系統，回填氣路，手動破空閥及消音器，真空規檢測，真空管路及真空閥門等組成。
三、真空冷噴涂樣件照片
噴涂氧化鋁試件照片
噴涂氧化鋁試件掃描電鏡照片
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