真空等離子噴涂
真空等離子噴涂
SWZP-2000真空等離子噴涂系統
一、總體概述
本設備PS-PVD/LPPS/VPS適用于單工位工件重量不大于150kg,實現100-90000Pa任意設定值真空條件下進行等離子噴涂，在真空室內噴涂設備由機器人夾持實現三維運動，工件由工裝轉臺夾持可在一定范圍內旋轉并與機器人聯動，壓力檢測位置位于工作臺上方，配備相應的除塵、冷卻、真空艙室內視頻等附屬裝置，并預留4個觀測窗口。
真空等離子噴涂系統由真空室體、真空系統、適用于真空環境使用的機器人、旋轉工裝、真空及排氣過濾系統、真空排氣系統、冷卻系統、測量及控制系統、臺車推移及拖鏈裝置和視頻監視系統等組成。（等離子噴涂系統由用戶自行選擇）
二、技術指標
A、概述
本設備可在100～90000pa的密封真空室內進行熱噴涂，等離子噴槍置于密閉真空環境下，將粉末材料送入經電離產生的等離子體射流中，使粉末顆粒在其中加速、熔化或汽化，在機械手操作下噴射到工件表面，在沖擊力的作用下，汽化、半熔化或塑性狀態射流在基底上凝固形成涂層。主要用于在材料表面制備功能涂層材料，如：金屬、活性金屬、合金、金屬陶瓷、陶瓷、碳化物和氮化物等形成多層復合材料。
真空等離子噴涂設備可以一次性在復雜形狀工件表面形成多層結構和超硬度涂層（如 TiN等），涂層致密無氧化和其他污染，可有效改善工件的表面物理化學特性。
B、主要技術參數
1、型號 ZP-2000A 型
2、真空室體規格 Φ2000×3500 mm
3、極限真空度(空載、干燥、清潔的真空室體) 5 Pa
4、工作真空度 100～90000 Pa（進氣量<100 SLPM）
5、靜態漏率(空載、干燥、清潔的真空室體) ≤ 67 Pa/h
6、控制方式 自動、手動抽空和采用計算機和PLC工業控制器聯合控制
7、氣體壓強控制 計算機自動控制壓強
8、氣體壓強調節方法 計算機調節多級泵聯合控制
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